Цена:
Артикул товара:
8110
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М
 Версия для печати |
| |||
| |||
|
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М
Оставить заявку online
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.
Основные достоинства и особенности прибора:
- универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохраненне соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
- с диффузионным насосом и азотной ловушкой - 2×10-4
- с турбомолекулярным насосом - 6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Блок питания DC магнетрона:
- напряжение, V 1100
- ток, mA 300
Блок питания высоковольтный:
- напряжение, kV 7
- ток, mA 50
Блок термического испарения:
- первый испаритель, ток, A 200
- второй испаритель, ток, A 100
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая - 620×630×1600
• стойка электрическая - 620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5
Варианты исполнения приборов ВУП-5М для поставки
| Система откачки | ВУП-5М-01 | ВУП-5М-02 | ВУП-5М-03 |
| Дифузионный насос , 220 V | + | ||
| Турбомолекулярный насос, 220 V | + | ||
| Турбомолекулярный насос, 115 V | + |
Дополнительные устройства по требованию заказчика:
кварцевый измеритель толщины
| На главную | Вверх |
Благотворительный интернет-фонд Помоги.Орг объединяет усилия пользователей интернета в разных странах для максимально эффективного сбора и распределения целевых пожертвований на острые и неотложные социально-медицинские нужды (операции, дорогостоящие курсы лечения, помощь детским и лечебным учреждениям в России).
Обращаем ваше внимание на то, что информация, размещенная на сайте, носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями статьи 437 (2) гражданского кодекса Российской Федерации.
